FIB

仪器名称：FIB

型号：Helios Nanolab 600i

检测项目: 利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜SEM实时观察，进行纳米级分析。

应用范围: 利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。广泛应用于透射电镜制样、半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障分析等。